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（1）儀器名稱：原子力顯微鏡(AFM)

（2）英文名稱：Atomic Force Microscope

（3）功能：原子力顯微鏡（Atomic Force Microscope)是利用奈米尺寸的探針在樣品表面做掃瞄，藉由原子之問的凡得瓦爾作用力產生接觸與排斥現象、再配合探針懸臂（cantilever )作為雷射光的反射介面，當探針因表面作用吸引排 斥而導致雷射的偏移量，記錄這些偏移數值即可呈現出樣品的表面形貌。近年來AFM開發很多的量測應用：如電性、磁性等，這些都必須搭配各式的探針與模組方能進行量測，根據其成像原理和操作模式的差異，以分析奈米材料表面形貌、表面粗糙度、尺度、電性、硬度、黏滯力等。涵蓋了聚合物材料表面結構、整合光路測量、材料力學性能特性、MEMS製程分析、細胞表面形態、結構觀察、資料儲存、液晶材料性能特性、生物感測器、分子自組裝結構、能源等領域的監測。

（4）收費：

      ► 學界 :1.表面形貌掃描 每小時1,500元 

                  2.機械性質、電性與液相掃描 每小時1,750元
      ► 業界 :1.表面形貌掃描 每小時4,000元 

                  2.機械性質｀電性與液相掃描 每小時5,000元
      ► 國科會計畫預約收費:

                   1.表面形貌掃描 每小時600元

                   2.機械性質｀電性與液相掃描：每小時700元(3小時為一個時段（次），不滿3小時以3小時計）
      ► 購買原廠一般探針: 1,500元   
      ► 購買原廠力學探針 2100元
      ► 購買原廠霓性探針 2500元
      ► 購買原廠磁性探針 3600元
      ► 數擄處理費 每件100元
      ► 空白光碟片 10元

線上, 紙本

1.若因試片處理不當造成機台損壞或污染，須負賠償責任，賠償費用由原廠評估。 2.預約者請在進行實驗當天，攜帶申請表格。 3.非特殊狀況下若欲取消預約，請於預約量測日的3個工作天前完成取消，否則需計基本使用費。 4.預約時段而無故不到者，將自動扣該時段之基本使用費。 5.若須探針掃描樣品可自備探針或向精密儀器中心技術員詢問，中心不負探針保管之責任。 6.實驗資料僅能以光碟片存取。 7.預約檢測時，請先填寫原子力顯微鏡(DlMENSlON lCON XR)使用預約紀錄表。