| 業務單位： | 環境安全科技中心 精密儀器中心 |
| 承 辦 人： | 李佩慈 |
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| 服務名稱： | 【熱門】X射線光電子能譜儀(XPS) |
服務說明：
1.服務對象
學生, 教師, 職員, 校友, 校外人士, 廠商
2.可提供的服務
（1）儀器名稱：X射線光電子能譜儀(XPS)
（2）英文名稱：X-ray photoelectron spectroscopy
（3）功能：物質表面的定性及定量化學分析，量測Valance band和功函數，量測電子親和力
（4）收費：
學界:預抽真空＄200/hr;基本費＄1000/hr;Ar離子鎗＄50/min;UPS $100/hr;LEIPS $100/hr
業界:預抽真空＄1,500/hr;基本費＄3,000/hr;Ar離子鎗＄100/min;UPS $1,000/hr;LEIPS $1,000/hr
國科會計畫預約收費：基本費＄1550/3hr（含預抽真空），Ar離子鎗＄50/min;UPS $100/hr;LEIPS $100/hr
圓檔處理費（元素含量及半高寬）100元／張
3.如何申請
線上, 紙本
4.注意事項
1,樣品不得具有磁性、揮發性、毒性、輻射性。
2,樣品尺寸：面積小於5*5mm 厚5mm 。
3.粉體樣品須事先壓錠。
＊若粉體樣品未壓錠好，將不予以測量；或是測試期間，因樣品損壞儀器，均由申請人負擔賠償責任。
4.樣品須自行前處理（烘乾、除水），以便實驗過程中真空度降至1x10-7。
5.進行微區分析時，申請人須親自到場指定受測區。
6.樣品預約時請先下載X射線光雷子能譜儀(XPS）服務辦法和樣品預約單。