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業務單位:
環境安全科技中心 精密儀器中心
承 辦 人:
張家偉
分  機:
2811
電子郵件:
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服務名稱: 【熱門】場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)
FE-SEM
場發射掃描式電子顯微鏡
服務說明:
1.服務對象
學生, 教師, 職員, 校友, 校外人士, 廠商
2.可提供的服務

(1)儀器名稱:場發射掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)

(2)英文名稱:Field Emission Scanning Electron Microscope

(3)功能:試片表面及截面幾何形狀觀測、凹凸面陰影觀測、元素鑑別及分析、觀測區域選定、調整景深及清晰度、數位螢幕顯示、材質含金屬、非金屬及無機物檢測。

(4)收費:

       學界:600元/時;Sputter Coater (Pt) : 50元/次
       業界:每小時1500元;Sputter Coater (Pt) : 500元/次
       國科會計畫預約收費: 600元/時段(3小時);Sputter Coater (Pt) : 50元/次

試片表面及截面幾何形狀觀測、凹凸面陰影觀測、元素鑑別及分析、觀測區域選定、調整景深及清晰度、數位螢幕顯示、材質含金屬、非金屬及無機物檢測。

3.如何申請
線上, 紙本
4.注意事項
l. 樣品需乾燥,若需特殊處理,需先自行製備 。 2.試片在電子束照射下會分解或擇放氣體,因有礙必要之真空維持,恕不受理 。 3.本儀器拒絕受理含磁性、腐蝕性、揮發性及不耐高溫之試件。 4.樣品最好為導電及導熱體,大小最大不可超過長2cm、厚0.5cm 。 為避免造成損壞,本儀器拒絕受理具強磁性、磁性(如鐵、鈷、鎳等)或易被電磁透鏡吸引的粉末型式樣品或材料; 拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性、低熔點之樣品。
文件下載:
1.
場發射掃描式電子顯微鏡簡介.pdf  
.pdf

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